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鸿舸半导体申请气体检测专利,可实时检测混合气体混合比例:气体检测
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金融界2025年1月17日消息,国家知识产权局信息显示,鸿舸半导体设备(上海)有限公司申请一项名为“一种应用于半导体制造中的气体检测方法和装置”的专利,公开号CN119310014A,申请日期为2
2025-03-08
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